设备功能：在沉积室利用辉光放电，使反应气体电离后在衬底上进行化学反应，沉积半导体薄膜材料。
所用材料：特种气体（前驱物、惰性气体等）。
产品展示
PRODUCT
联系我们
邮箱：zhangqiao@changhuowk.com
微信：amoszhang1
地址：中国（上海）自由贸易试验区临港新片区 环湖西二路888号C楼
苏州工业园区苏虹东路188号A幢325-327室
沪ICP备2021031794号-1- beian.miit.gov.cn
